真空度: ≤3*10-10 mbar
超高真空腔体：可以定制
样品尺寸：2英寸、4英寸、旗型样品托
样品台：四轴（XYZ+旋转）
温度：wafer： RT~1100 K，
旗型托：150~1300 K
兼容冷屏、RHEED、QCM等
