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真空度: ≤3*10-10mbar超高真空腔体:可以定制样品尺寸:2英寸、4英寸、旗型样品托样品台:四轴(XYZ+旋转)温度:wafer: RT~1100 K,旗型托:150~1300 K兼容冷屏、RHEED、QCM等
分子束外延系统
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