高机械稳定性
粗动范围:5*5*10 mm
4 K扫描范围(150V):3*3*0.5 μm
38 mm外径,多光路通孔
兼容Q-plus探针,兼容18*15标准样品板
兼容多种控制器
搭配旋转纳米位移台可实现扫描头整体绕中轴旋转功能